高精度、低功耗MEMS气压传感器的开发

株式会社村田制作所开发了高精度、低功耗的静电容量型MEMS气压传感器。本产品应用了2012年1月收购的Murata Electronics Oy (以下称：村田芬兰)的静电容量型 MEMS技术，能够不受温度变化的影响检测出气压。

近年来，应用于智能手机和平板电脑等移动设备的导航系统和检测人体的行动、活动等状态的活动监视系统的研究和开发不断地开展，对于高精度、低功耗能够进行检测高度的气压传感器的需求也不断高涨。

因此，我公司应用了村田芬兰拥有的静电容量型MEMS技术，完成了提高对温度漂移的性能、降低噪声水平为0.5Parms、能够检测出高低差的气压传感器的开发。此产品相当于5cm的噪声水平。

并且，通过采用静电容量型，从而实现了低功耗，能够为设备的节能作出贡献。此产品除了能够应用于卫星导航和活动监视系统，我们也期待着能够有效利用于医疗保健设备和收集气象数据等方面。

产品特点

1. 高精度

①提升对温度漂移的性能（如图表1）

受到温度变化的影响，气压检测数据会有容易产生漂移的问题。我公司的气压传感器几乎完全不受到影响，能够经常取得正确的数据。

②降低噪声水平（如图表2）

降低气压数据的噪声水平，实现了高精度数据检测。

2. 低功耗

通过采用静电容量型实现了低功耗。因此，能够为装载设备的节能作出贡献。

图表1 温度变化和气压数据

图表2 对实际高度的气压数据和噪声水平